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Machine Vision ermöglicht präzise Inspektionen und Qualitätskontrollen in der Halbleiterindustrie – sowohl in der Wafer- als auch in der Mikroprozessorenfertigung. Bildverarbeitungstechnologien werden eingesetzt, um winzige Defekte, Unregelmäßigkeiten oder Verunreinigungen auf den Oberflächen zu identifizieren.
Ein weiterer Bereich ist die Kontrolle von Gravuren und Mikrostrukturen. Bildverarbeitungssysteme prüfen die Integrität von Mikrogravuren auf Halbleiterchips. Dies ist fundamental für die Herstellung von Mikroprozessoren und anderen elektronischen Bauteilen, bei denen die kleinste Abweichung zu Funktionsstörungen führen kann.
Auch bei der Vermessung von Bauteilen sind präzise Messungen unerlässlich, um sicherzustellen, dass Halbleiterkomponenten den spezifischen Designvorgaben entsprechen. Dies umfasst die Inspektion von Strukturgrößen, Dicke von Schichten und anderen wichtigen Aspekten.
Weiterhin ist die Erkennung von Fehlern bei der Fotolithographie essentiell. Durch den Einsatz von optischen Systemen wird sichergestellt, dass der Fotolithographieprozess korrekt durchgeführt wird, und um eventuelle Fehler in der Schichtbelichtung zu identifizieren, die die Funktionalität der Halbleiterkomponenten beeinträchtigen könnten.
Die Integration von Machine Vision in der Halbleiterindustrie trägt dazu bei, die für diese Branche entscheidende Präzision und Qualität bei höchster Produktivität zu erreichen. In der Auswahl von Objektiven für den Einsatz in der Halbleiterindustrie müssen mehrere Kriterien beachtet werden.
Das Sichtfeld (Field of View) ist wichtig um die Oberflächen von Wafern und Chips vollständig zu erfassen. Ein breites Sichtfeld kann erforderlich sein für umfassendere Inspektionen, etwa für die Prüfung eines Wafers vor dem Zersägen, während bei der Kontrolle von Mikrostrukturen ein enges Sichtfeld für eine detaillierte Erfassung von Mikrogravuren entscheidend ist.
Geringe optische Verzeichnungen sind notwendig, um exakte Bilder von Mikrostrukturen auch am Bildrand zu erhalten, was wiederum für eine genaue Inspektion und Qualitätskontrolle unerlässlich ist.
Die Transparenz von Silizium im Infrarotspektrum ermöglicht die Inspektion tieferer Produkteigenschaften durch Siliziumschichten hindurch. In solchen Fällen sind infrarotoptimierte Objektive notwendig.
Aufgrund der stark automatisierten Natur der Halbleiterproduktion müssen Kameras und Objektive robust und widerstandsfähig gegen schnelle Bewegungen, Stöße und Vibrationen sein.
Unter Berücksichtigung dieser Kriterien ermöglichen optische Systeme nicht nur zuverlässige Qualitätskontrolle, sondern auch die Optimierung von Produktionsprozessen. Tamrons Objektivserien bieten fortschrittliche Möglichkeiten für hochpräzise Inspektionen auf höchstem Niveau.
Als etablierter Hersteller mit einer beeindruckenden Erfolgsgeschichte und kontinuierlicher Innovation hat Tamron sich als zuverlässiger Partner in der optischen Industrie erwiesen. Unsere Optik-Experten verfügen über umfangreiche Erfahrung im Bereich der Machine Vision und können Ihnen bei der Auswahl des richtigen Objektivs für Ihre Anwendung helfen.
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